流量設備生產于1960年代，是系統中必不可少的組件，這些系統創建了校準各種氣體分析儀器所必需的特殊氣體標準。

    流量設備會產生與氣體流量相對應的信號。在其基礎上，流量設備不受溫度和壓力波動的影響，因為氣體的熱量不同于其特定類型。它們產生的信號高度穩定且精確。

    分體式電磁流量計的精度
    分體式電磁流量計的精度通常表示為滿量程流量的百分比（％FS），該百分比表示分體式電磁流量計在其額定滿量程流量下運行時達到的**大精度。

    分體式電磁流量計的精度表示為設定點的百分比，當分體式電磁流量計以較低的流量運行時，該百分比會顯著降低。

    例如，可以確定精度為+/- 1％FS且以1000 cc / min的設定值運行的1000 cc / min分體式電磁流量計的精度為設定值的+/- 1％。

    但是，如果同一分體式電磁流量計以100 cc / min的設定點運行，則精度將表示為設定點的百分比，該百分比減小到設定點的+/- 10％。

    選擇分體式電磁流量計以提高準確性
    就像MFC是高精度氣體混合器的核心一樣，為動態氣體混合器確定和選擇分體式電磁流量計，流量傳感器也使用基于分體式電磁流量計的動態氣體混合器來產生精確的校準氣體標準電子分體式電磁流量計和流量計確保蒸氣流量的測量和控制是準確的生產氣體標準。

    湯姆•布拉姆福德（Tom Bramford）于2007年第二季度發布的特種氣體報告27是分體式電磁流量計的核心。用于測量和控制流量的**常見和傳統技術是使用熱分體式電磁流量計。

    如前所述，這種類型的設備可測量在小管中隨著熱量與氣體之間的熱傳遞而發生的溫度變化（或差異）。

    推薦分體式電磁流量計
    所述Environics的分體式電磁流量計被校準到的設定點的+/- 1％，而不是滿刻度的精度，以確保精確度保持不變，而不管流控制器的操作點的。

    為了達到此精度，需要對儀器中的每個分體式電磁流量計進行11點校準。